为更好的服务广大师生，满足制备及测试需求，广东工业大学半导体微纳加工研发及服务平台将于2026年5月29日举行准入培训。请有意参加培训的师生于2026年5月28日前填写《半导体微纳加工研发及服务平台使用登记表》进行平台使用培训报名。登记表请发送至邮箱：senat@gdut.edu.cn。期待与您开展深入交流及广泛合作。联系人：肖老师，联系电话：39262839。

平台介绍：

在广东省委省政府的统筹及学校的大力支持下，广东工业大学集成电路学院精准对接半导体产业需求，建成了半导体微纳加工研发及服务平台（下称“平台”）。平台以 “融合产教、赋能创新” 为导向，致力于打造集高水平人才培养、前沿科研创新、优质技术服务于一体的综合性支撑平台。

平台总体面积超过1800平方米，其中洁净区域约1100平方米，分为光刻区、镀膜区、湿法区、扩散区和测试区，配备光刻机、电子束曝光机等行业尖端设备，确保工艺精度与研发效率达到国际一流水准。目前平台已配置工艺设备46台套，包括：MA6 Gen 4半自动双面对准光刻机、扫描电子显微镜系统（含EDS能谱功能）、纳米压印机、PRO Line PVD 75磁控溅射镀膜系统、等离子增强化学气相沉积系统（PECVD）电子束蒸镀系统、高真空热蒸发镀膜系统、反应离子刻蚀系统（RIE）、电感耦合等离子体刻蚀系统（ICP）、MPR-6等离子去胶机、等离子清洗机、等离子体增强化学沉积系统（PECVD,含TEOS工艺）、台阶仪、氧化扩散炉等。平台具备芯片制造中的单项工艺及全流程制备工艺，包括微细光刻、薄膜沉积、等离子刻蚀、热制程与掺杂、测试与表征，可承担微纳电子、光电子、微纳机电系统、生物传感及生物芯片等多领域器件研发服务。

附件-半导体微纳加工研发及服务平台使用培训登记表

集成电路学院

2026年05月22日